Metoda obróbki z dokładnością do 1 μM. Precyzyjna obróbka realizowana jest przy użyciu precyzyjnych obrabiarek, narzędzi pomiarowych i mierników pod ścisłą kontrolą warunków środowiskowych. Nazywa się to obróbką ultra precyzyjną, gdy dokładność obróbki osiąga lub przekracza 0,1 μM.

Efekt technologiczny precyzyjnej obróbki jest następujący:

Dokładność kształtu geometrycznego i wzajemnego położenia części może osiągnąć mikron lub kąt sekundowy;

Tolerancja wymiaru granicznego lub elementu jest mniejsza niż mikrometr;

Mikro nierówności powierzchni (średnia różnica wysokości nierówności powierzchni) części jest mniejsza niż 0,1 μm;

Wzajemne połączenia mogą spełniać wymogi łączenia siły;

Niektóre części mogą również spełniać wymagania dotyczące precyzyjnych właściwości mechanicznych lub innych właściwości fizycznych;